产品中心

Product Center

零部件声波清洗机( Parts Cleaner)

适用场景:用DIW、酸液等药液清洗各种半导体生产制程用零部件、治具
设备特点:
1、支持EAP、FDC、MES等功能
2、PLC+触摸屏控制方式,可预设多条Recipe
3、槽体最大尺寸L 800mm X D 800mm X H 800mm,材质SUS316/PVDF/PP可选
4、喷淋、超声、加热、鼓泡、溢流、吹干等多种工艺可选
5、通过PID控制加热温度
6、具有安全模式,能及时有效的保障人员及设备安全
7、多任务并行处理,有效的提高产能
8、工艺窗口开放,各工艺时间可自由设定
9、设备外形尺寸:L 2500mm X W 1300mm X H 2200mm (双槽)
10、本体材质PP/FM4910认证PVC

热电偶存储柜(TC Stocker)

适用场景:用于存储TC(石英细管)
设备特点:
1、分层设计,TC存储数量多
2、TC接触处有防磕碰保护
3、门上安装密码锁,安全有保障

石英管/石英舟存储柜(Quartz Tube/Boat Stocker)

适用场景:用于存储Parts、石英管/舟
设备特点:
1、具备FFU系统,提供Class 100以上洁净环境
2、具备照明功能
3、可根据客户需求定制旋转/非旋转形态
4、可根据客户需求定制不同储放数量
5、石英接触处有防磕碰保护

氮气柜(N2 Box)

适用场景:提供充满N2密闭空间,存储相关部件
设备特点:
1、N2流量、压力可调
2、可根据不同需求非标定制
3、承载能力强

设备维护工具小车(PM Car)

适用场景:设备维护时相关工具、零部件摆放、移动
设备特点:
1、顶部有作业台面,底部有工具零部件存储柜;
2、推车顶部承重较大;
3、本体下部装有四只万向脚轮,带刹车,带减震;
4、主体采用优质不锈钢

电子货架(E-Rack)

适用场景:用于存放Reticle并将信息上传
设备特点:
1、LED Display,显示操作成功与否,及每个Reticle的详细信息;
2、RFID Reader,判断存储位是否被占用并读取Reticle信息;
3、XCDA Purge,每个存放Reticle位置上部都配有XCDA Purge吹扫口,每个Reticle位置气体流量30NL/min(0.3MPa时),每层通过流量开关实现2~200L/Min流量调节并配手阀开关,可控制吹扫频率,配置XCDA低压报警装置。
4、E-Rack实时读取Reticle上的RFIDtag,将RFID资料通过网口传送到MES系统上进行统一管理,可实时查看E-Rack上Reticle存储情况

卧式石英管舟清洗机( Horizontal Quartz Tube/Boat Cleaner)

适用场景:用DIW、酸液等药液清洗8寸/12寸等多种尺寸的石英石英舟/石英管
设备特点:
1、机械手臂负载:≤50Kg (机械手臂最大负载:50 kg)
2、清洗对象:
  炉管最大尺寸:ø 510mm X L 1520mm
  石英舟最大尺寸:ø 345mm X L 1385mm
3、清洗能力:石英管/石英舟 1只/次/腔室
4、设备构成:由卧式酸槽、卧式水槽、机械臂(吊钩)等主要机构组成
5、设备安全:排酸权限分级、排酸弹窗确认、门锁Interlock、EMO等
6、酸槽主要功能:自动补液(液位传感器控制)、自动槽盖、药液循环过滤、炉管滚动、独立取样口
7、工艺过程全自动处理、可预设多条Recipe,操作简洁
8、选配SECS/GEM接口
9、配置Leak Sensor
10、设备外形尺寸:L 2830mm X W 2540mm X H 3400mm

立式石英管舟清洗机(Vertical Quartz Tube/Boat Cleaner)

适用场景:用DIW、酸液等药液清洗8寸/12寸等多种尺寸的石英石英舟/石英管
设备特点:
1、清洗对象:
  石英管及零部件(包括Boat、点火炮、热电偶等)
  石英管(石英反应外管/夹层/进气管)最大尺寸:ø 510mm X L 1740mm
  零部件最大尺寸:L 1200mm X W 550mm X H 350mm
2、清洗能力:石英管:1只/次/腔室 或 石英部件 :1批/次/槽
3、设备构成:主要由炉管清洗腔(腔室由旋转平台、喷头)、卧式酸洗槽等机构组成
4、设备安全:排酸权限分级、排酸弹窗确认、门锁Interlock、EMO等
5、酸槽主要功能:自动补液(液位传感器控制、自动槽盖、药液循环过滤、独立取样口
6、工艺过程全自动处理、可预设多条Recipe,操作简洁
7、选配SECS/GEM接口
8、配置Leak Sensor
9、设备外形尺寸: L 2790mm X W 2220mm X H 2930mm

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